パネル納入実績 2001年(平成13年)

LS電灯分電盤(4面連結)

5式

配電盤・分電盤

42面

CVDバルブシャッター操作盤他

5面

シリコンエッチャー用C/C操作盤

8面

ラジカル窒化ガス制御盤

2面

ヒータ制御盤

50面

チッソ供給設備

5面

P-2マスクストッカー

3式