パネル納入実績 2000年(平成12年)

高圧受電盤及び高圧キ電盤

7面

分電盤

15面

C/C操作盤・監視盤

5面

CVD用C/C操作盤他 

7面

MHヒートポンプサイクル装置

1式

電圧設定器盤

1面

コントローラーAMPパネル

3面

ECN現像器制御盤 

1式